熱電堆紅外 (IR) 溫度傳感器氦質譜檢漏

熱電堆是一種熱釋紅外線傳感器，它是由熱電偶構成的一種器件。它在耳式體溫計、放射溫度計、電烤爐、食品溫度檢測等領域中，作為溫度檢測器件獲得了廣泛的應用。熱電堆是基於賽貝克效應機理，兩種具有不同塞貝克係數的材料相互串接構建的閉環回路(即一對熱電偶)，兩串接處中溫度較高的一端通常被稱作“熱結”，較低的一端被稱作“冷結”，材料中載流子沿著溫度梯度降低的方向移動，引起電荷積累在冷結處，此時回路中便有熱電勢產生。

       紅外(IR)傳感器主要采用TO封裝，其廣泛應用在電子體溫計上，將人體輻射的紅外線轉換為電信號的變化，從而顯示出人體溫度。相比傳統水銀溫度計，電子體溫計具有更安全，讀數直觀，時間短，精度高等優點。做為封裝型器件，芯片的封裝氣密性直接影響到IR傳感器的精度和靈敏性，因此生產時對其進行氦質譜檢漏非常有必要，基本都是采用背壓法進行檢漏，該檢漏方法簡單可靠。即將IR傳感器置於一定壓力的容器中，通入氦氣進行壓氦，保壓一定時間取出器件，轉入一個連接在氦檢儀上真空容器中（檢漏罐）進行檢漏，通過自動檢測判定IR傳感器是否達到封裝氣密性指標要求。

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