低溫泵是利用低溫表麵冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率最大、極限壓力最低的清潔真空，廣泛應用於半導體和集成電路的研究和生產，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表麵分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方麵。

在低溫泵內設有由液氦或製冷機冷卻到極低溫度的冷板。它使氣體凝結，並保持凝結物的蒸汽壓力低於泵的極限壓力，從而達到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。低溫泵分為注入式液氦低溫泵和閉路循環氣氦製冷機低溫泵兩種。閉路循環氣氦製冷機低溫泵它是70年代出現的新型低溫泵。這種泵不消耗氦氣、操作簡便，易於維修，應用日漸廣泛。本案中客戶維修的低溫泵就是CTI品牌的閉路循環氣氦製冷機低溫泵。

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