一、引言

隨著電子及半導體行業的飛速發展，對產品密封性能的要求日益提高。尤其是在高精密、高性能的電子元器件及封裝過程中，任何微小的泄漏都可能對產品性能和可靠性產生嚴重影響。因此，如何高效、準確地檢測產品密封性能成為行業發展的關鍵。

二、真空箱式氦檢漏設備檢漏及回收係統基本原理

真空箱式氦檢漏設備是一種基於氦質譜技術的密封性檢測設備。它利用氦氣在常溫下不與空氣發生反應的特性，通過將被測物體放入真空箱內，抽取真空後充入氦氣，形成密閉空間。當被測物體內部存在氣體泄漏時，會導致密閉空間內的氦氣濃度發生變化，從而實現對氣體泄漏的檢測和測試。

為滿足工業現場快節奏檢測節拍、充分利用資源、節約設備製造成本。係統采用雙工位設計，係統原理簡圖如圖一所示，兩個工位共用一套粗抽機組、精抽機組、檢漏儀、耐壓測試單元、工件抽空單元、氦氣充注及回收單元。

兩個工位可交替執行不同工藝流程，比如一個工位在檢漏時，另一個工位可執行抽空、檢漏等步序。根據此原理，水蜜桃在线视频設計雙工位氦檢漏係統如圖二。

此外，真空箱式氦檢漏設備還具有以下性能特點：

(1)靈敏度高：真空箱式氦檢漏設備能夠檢測到極微小的氣體泄漏，具有很高的靈敏度。

(2)適用範圍廣：該設備適用於各種形狀、大小及材質的電子元器件和封裝結構的密封性檢測。

(3)自動化程度高：設備配備人機交互界麵，實現全自動壓力監測、自動判斷、聲光提示等功能，減少人為幹預，提高檢測效率。

(4)可靠性高：係統采用高端配置，穩定可靠，自動檢測故障，確保檢測結果的準確性。

(5)環保節能：設備配備氦氣回收係統，回收率高達98%以上，減少資源浪費，降低環境汙染。

三、真空箱式氦檢漏設備在電子及半導體行業的應用

半導體封裝檢測：在半導體封裝過程中，需要對封裝結構進行密封性檢測。真空箱式氦檢漏設備可以高效、準確地檢測出封裝結構中的微小泄漏，確保封裝質量。

電子元器件檢測：電子元器件的密封性能對其性能和可靠性具有重要影響。真空箱式氦檢漏設備可用於檢測各種電子元器件的密封性能，如電路板、傳感器等。

精密連接器檢測：在電子及半導體行業中，精密連接器廣泛應用於各種設備和係統中。真空箱式氦檢漏設備可用於檢測連接器的密封性能，確保其連接可靠、無泄漏。

四、結論

真空箱式氦檢漏設備在電子及半導體行業檢測中具有重要應用價值。其高靈敏度、高可靠性、自動化程度高等特點使其成為行業發展的有力保障。隨著電子及半導體行業的不斷發展，真空箱式氦檢漏設備將在更多領域得到廣泛應用。

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