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          微波等離子體化學氣相沉積法MicrowavePlasmaCVD(MPCVD)是目前國際上被用於高品質金剛石膜製備的首選方法。MPCVD裝置是將微波發生器產生的微波經波導傳輸係統進入反應器，並通入甲烷與氫氣的混合氣體，在微波的激發
          發布時間：2024-04-25   點擊次數：112

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